Книга «Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением». Издательство: Ленанд. Год выпуска: 2022. Переплет: Твердый переплет. Количество страниц: 316. Автор: Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Стандарт: 8. Формат, ммсм: 145×215.